pte19971104003 in Business
Computerchips auch kleiner Stückzahl produzierbar
Spiegel als programmierbare Maske bei Belichtung von Siliziumwafern
Frankfurt (pte) (pte003/04.11.1997/11:06)
Eine geniale Methode, Computer-Chips auch in geringer Stückzahl mit vertrebarem Aufwand herzustellen, haben Wissenschaftler des Fraunhofer-Institutes für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme entwickelt und mit dem jungen Berliner Unternehmen SENTECH zur Serienreife gebracht: Ihnen dient ein gezielt verformbarer Spiegel als programmierbare Maske bei der Belichtung von Siliziumwafern.
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