pte19990706021 in Business
Bessere Oberflächenkontrolle von Halbleitern
Reflexionsdifferenzspektroskopie (RDS) erkennt Abweichungen im Mikrometerbereich
Linz (pte021/06.07.1999/14:00)
(pte) - Kurt Hingerl vom Institut für Halbleiterphysik und Festkörperphysik der Universität Linz http://www.uni-linz.ac.at/ hat, unterstützt vom FWF (Fonds zur Förderung der wissenschaftlichen Forschung) http://www.fwf.ac.at/ , entscheidend zur Weiterentwicklung der Reflexionsdifferenzspektroskopie (RDS) beigetragen. Diese ermöglicht oberflächen-physikalische und -chemische Messungen von kinetischen und katalytischen Prozessen während eines Beschichtungsprozesses. Parallel zur Messung kann man durch Eingriffe bzw. Korrekturen im Beschichtungsvorgang die Qualität der abgeschiedenen Schicht verbessern.
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