Präzisere Herstellung von Computerchips
Chipproduktion mit magnetisch gesteuerter Arbeitsbühne
Cambridge/Massachusets (pte) (pte007/26.01.1999/08:19) Wissenschafter des Massachusetts Institute of Technology in Cambridge, Massachusets (MIT) sehen sich in der Lage, die Geschwindigkeit mit der noch feinere integrierte Schaltungen auf Silziumwafer hergestellt werden, zu verdoppeln. In der Chipproduktion werden normalerweise luftgelagerte Arbeitsbühnen benutzt, die die Siliziumwafer durch den Produktionsprozeß bewegen. Nun wurde am MIT eine neue vielversprechende Technik entwickelt die diese Arbeitsbühnen durch eine schnellere und präzisere magnetische zu ersetzen.
Anders als die langsameren luftgelagerten, die separate Komponenten für vertikale und horizontale Bewegung brauchen, kann die neue magnetische Version beide Positionierung leisten. Zum Heben und Bewegen des Wafers mit Nanometergenauigkeit wird ein magnetisches Feld benutzt. Da kein mechanischer Kontakt zwischen Arbeitsbühne und anderen Teilen der Maschine besteht, gibt es keine Reibung und somit keinen Verschleiß. Zudem erlaubt das neue System sechs Freiheitsgrade bei der Positonierung. Die Arbeiten werden unterstützt von Utratech/Integrated Solutions und dem NSF. Informationen: David L. Trumper, Tel: +1-617-253-3481, Email: trumper@mit.edu (stpnews)
(Ende)| Aussender: | pressetext.austria |
| Ansprechpartner: | rh |
| Tel.: | 01/402 48 51-0 |
| E-Mail: | redaktion@pressetext.at |
| Website: | pressetext.at |
