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pte19990210007 in Business

Präzise computergesteuerte Linsenproduktion

Flexible Maske für Mikrobearbeitung mit Laser


Hannover (pte) (pte007/10.02.1999/08:40)

Die Erzeugung von Mikrostrukturen in Polymeren, Keramiken und Glas mit lasergestützten Verfahren gewinnt immer mehr an Bedeutung. Die besonderen Vorteile der Laserbearbeitung ergeben sich aus der hohen Flexibilität, einem vernachlässigbaren Werkzeugverschleiß und einer geringen Materialschädigung. Für diese Art der Bearbeitung bieten sich vor allem Excimer-Laser an, die Strahlung im UV-Bereich emittieren. Bisher war bei der Excimer-Laserbearbeitung nur der Einsatz von Masken mit festgelegter Geometrie möglich, die die nötige Flexibilität für die Bearbeitungsprozesse nicht aufweisen konnten.

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