pte19980226004 in Business
Noch kleinere Chips möglich
0,08-Mikron-Verfahren zur Chip-Produktion entwickelt
Dallas (pte) (pte004/26.02.1998/09:54)
Forscher der Texas University und der Photomaskenhersteller Dupont Photomasks (DPI) haben ein Verfahren vorgestellt, das die gängige Chip-Produktion unter die bisher angenommene Miniaturisierungsgrenze von 0,1 Mikrometer für einzelne Transistoren bringt. Von DPI stammen die Photomasken, mit deren Hilfe die Strukturen mittels Ultraviolett-Licht auf die Wafers gebrannt werden können. Die Universität entwickelte das entsprechende Brennverfahren.
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