pte20000122006 in Business
Neues Verfahren analysiert chemische Zusammensetzung von Nanostrukturen
Dünne Kobaltschicht als chemischer Kontakt für Halbleiter
Eindhoven/NL (pte) (pte006/22.01.2000/11:00)
Forscher der Technischen Universität Eindhoven http://www.tue.nl/default_netscape.htm entwickelten ein Verfahren, die chemische Zusammensetzung von Chips oder Beschichtungen zu bestimmen, die nur wenige Nanometer groß sind. Diese Technik liefert einen wichtigen Beitrag zu weiterer Miniaturisierung im Bereich Mikroelektronik und Halbleiter, wo die kleinsten Strukturen um die 200 Nanometer groß sind.
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