Weißlichtlaser eine Mio. Mal heller als Sonne
Lichtquelle beschleunigt Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie sowie in der Mikrobiologie
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Laser: In diesem Laboraufbau erzeugt dieser ein sogenanntes Superkontinuum (Foto: iws.fraunhofer.de) |
Dresden/Zwickau (pte029/10.02.2022/13:30)
Ein neuer leistungsstarker Weißlichtlaser soll die Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie beschleunigen und in der Mikrobiologie für eine engmaschigere Kontrolle von Toxizitätstests sorgen. Die Technologie haben Forscher am Fraunhofer-Anwendungszentrum für Optische Messtechnik und Oberflächentechnologien http://bit.ly/3oFKbRo und der Westsächsischen Hochschule Zwickau entwickelt.
In Fertigung integrieren
In einem Schritt ermöglicht der Laser die beidseitige Charakterisierung von Oberflächen und lässt sich in Produktionsketten eingliedern. Die neue Lichtquelle scheint laut den Forschern eine Mio. Mal heller als die Sonne und lässt sich problemlos in Fertigungsprozesse eingliedern - und das ganz ohne diese anzuhalten oder eine Ausschleusung von Proben zu benötigen.
Gerade in kostenintensiven Herstellungsprozessen der Halbleiterindustrie, wie etwa der Chip-Fertigung, ließen sich somit deutliche Einsparpotenziale erzielen, unterstreicht Forscher Tobias Baselt. Der Wissenschaftler hat bewiesen, dass das Weißlichtlaser-Verfahren Qualitätskontrollen von Halbleiterelementen schneller durchführt.
Zellen live überwachen
Durch die Intensität der Lichtquelle können etwa das Oberflächenprofil, tieferliegende Strukturen und sogar die Rückseite von Chips in einem Vorgang charakterisiert werden. Auch die Mikrobiologie könnte von der entstandenen Lichtquelle profitieren, zum Beispiel bei der Untersuchung von Zellkulturen. Dabei wird der Weißlichtlaser, in der Fachsprache auch Superkontinuumsquelle genannt, für einen kurzen Moment auf die Zelle fokussiert.
Die Intensität der Lichtquelle ermögliche laut Baselt die Darstellung kleinster Zellstrukturen, ohne sie zu zerstören. Mit diesem Messverfahren können Zellen in Echtzeit überwacht und damit die Früherkennung von Zellveränderungen sowie Zellschäden erkannt werden. Wo es bislang nur möglich war, diese zu festen Zeiten zu zählen, ermöglicht die neue Lösung, deren Zustände nichtinvasiv zu erfassen oder gar zu beeinflussen.
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