pte19981029008 in Business
Innovationsschub für die Chiptechnologie
"Direktbelichtung" für Wafer
Berlin (pte008/29.10.1998/08:07)
Das Strukturieren von Chips, ein elementarer Prozeßschritt in der Halbleitertechnologie, soll mit einer neuartigen Belichtungstechnik jetzt rationalisiert werden. Dabei werden die traditionellen Masken, bisher unumgängliche Voraussetzung zur Strukturprägung, durch das Prinzip der Direktbelichtung des Wafers überflüssig. Direktbelichtung bedeutet einen Innovationsschub in der Technologie von Halbleiterchips, deren Fertigung damit komfortabler, schneller und zudem bedeutend wirtschaftlicher erfolgen kann. Die Entwicklung wurde im Dresdner Fraunhofer - Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme (IMS) von einem dreiköpfigen Forscherteam konzipiert. http://idw.tu-clausthal.de/public/zeige_einrichtung.html?eid=245 miede hat weithin einen
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