pte20001026010 in Forschung
Technologiesprung bei Prozessorentwicklung
Physiker erzeugen extremes UV-Licht für Leiterplatten-Lithographie
Jena (pte010/26.10.2000/11:30)
Deutsche Laserphysiker sind der Erzeugung von extrem hochfrequenter Ultraviolett-Strahlung einen Schritt näher gekommen. Damit können noch kleinere Strukturen in die fotoempfindliche Oberfläche von Halbleiterplatten geätzt werden als bisher, was einem Technologiesprung bei der Entwicklung noch leistungsstärkerer Prozessoren und Speicherelemente gleichkommt.
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