Neues Verfahren erlaubt Mikro-Bearbeitung von Teflon und Quarzglas

Herstellung dreidimensionaler Konturen für Mikrobauteile

Hannover (pte011/23.03.2000/11:00)

Laser haben sich als besonders geeignetes Werkzeug für die flexible Mikro-Strukturierung erwiesen. Durch die Nutzung der passenden Laseranlagen (z. B. Excimer-Laser) können Mikroschnitte und -bohrungen sowie komplexe dreidimensionale Topographien in vielen Materialien gefertigt werden. Durch den Einsatz von F2-Excimer-Lasern (157 nm)am Laser-Zentrum Hannover (LZH) ist nun die Bearbeitung von Quarzglas oder auch PTFE (Polytetrafluorethylen, Handelsname: Teflon) möglich geworden.

In Kombination mit einem neu entwickelten Verfahren zur Herstellung dreidimensionaler Konturen für Mikrobauteile können sowohl PTFE als auch Quarzglas mit einer Tiefenauflösung deutlich unter einem Mikrometer und mit einer Strukturauflösung bis in den Mikrometerbereich bearbeitet werden. Aufgrund der besonderen Materialeigenschaften von PTFE (nicht entflammbar, antiadhäsiv, temperaturbeständig, biokompatibel) ist dieser Werkstoff vor allem für den Einsatz im Bereich der Medizin- und Elektrotechnik interessant.

Die Anwendungen für Quarzglas sind ebenfalls sehr vielfältig. Aufgrund seiner hohen Transparenz ist Quarzglas insbesondere für die Herstellung von optischen Linsen, Lichtleitfasern zur Datenübertragung. Durch den Einsatz der extrem kurzwelligen Laserstrahlung ist hiermit eine fertigungstechnische Lücke geschlossen worden. Nahezu jeder technisch relevante Werkstoff kann mit Lasern flexibel und mit einer Auflösung im Bereich von Mikrometern strukturiert werden. Informationen: Klaus Körber, LZH, E-Mail: kb@lzh.de (stpnews) (Ende)