pte20000323011 in Forschung
Neues Verfahren erlaubt Mikro-Bearbeitung von Teflon und Quarzglas
Herstellung dreidimensionaler Konturen für Mikrobauteile
Hannover (pte011/23.03.2000/11:00)
Laser haben sich als besonders geeignetes Werkzeug für die flexible Mikro-Strukturierung erwiesen. Durch die Nutzung der passenden Laseranlagen (z. B. Excimer-Laser) können Mikroschnitte und -bohrungen sowie komplexe dreidimensionale Topographien in vielen Materialien gefertigt werden. Durch den Einsatz von F2-Excimer-Lasern (157 nm)am Laser-Zentrum Hannover (LZH) ist nun die Bearbeitung von Quarzglas oder auch PTFE (Polytetrafluorethylen, Handelsname: Teflon) möglich geworden.
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