Neues Messverfahren erkennt Partikel auf rauen Oberflächen

Direkte Partikelmessungen ohne Proben möglich

Stutgart (pte007/17.07.2000/11:00)

Auf rauen Oberflächen sind Partikel nur schwer zu erkennen, weil sie sich optisch kaum vom Untergrund abheben. Besonders bei automatischen Messungen ist das ein Problem. Bislang werden bei indirekten Verfahren zunächst die Verunreinigungen von der Oberfläche abgelöst und erst anschließend erfasst - allerdings mit einer Fehlerquote von bis zu 80 Prozent. Eine verlässliche Aussage, wie viele Partikel sich auf einer Oberfläche befinden, ermöglichte bisher nur das zeitraubende Auszählen unter einem Mikroskop - vorausgesetzt, dass die Proben nicht zu groß waren.

Die Forscher des Fraunhofer-Instituts für Produktionstechnik und Automatisierung IPA in Stuttgart http://www.ipa.fhg.de/ haben ein automatisiertes Messverfahren entwickelt, das mit Streiflicht arbeitet. Es erzeugt bei den unterschiedlichsten Materialien und Oberflächen den, für die messtechnische Erfassung, nötigen Kontrast.

Damit dieses Verfahren in möglichst vielen Bereichen eingesetzt werden kann wurde ein tragbares Messgerät entwickelt. Der "Surface Contamination Counter (SCC)" ermöglicht direkte Partikelmessungen ohne Proben nehmen zu müssen. Je nach Oberfläche weist er Partikel ab einem Mikrometer nach, auch auf Objekten wie Prozessgeräten, Gehäusen oder Reinraum-Mobiliar, die sich wegen ihrer Größe bisher nur schwer vermessen ließen.

Der "Surface Contamination Counter" besteht aus zwei Teilen: einer Bedien-Konsole mit einem leistungsstarken Akku für den netzunabhängigen Betrieb, die die Steuerungs- und Auswerteaufgaben übernimmt, und einem handlichen Messkopf, den der Bediener in jeder beliebigen Lage und Orientierung auf die zu untersuchende Oberfläche aufsetzen kann. Reicht der Standard-Messkopf nicht aus, entwickeln die Wissenschaftler im Auftrag auch einen für die jeweilige Maß-Aufgabe spezifischen. Das Messgerät ist einfach zu bedienen und deshalb ist keine spezielle Ausbildung nötig. Alle erfassten Messdaten und Oberflächenbilder sind direkt am Gerät abrufbar, lassen sich aber auch einfach auf einen PC übertragen, dort archivieren und weiterverarbeiten. Ansprechpartner: Ralf Grimme , Fraunhofer- IPA, E-Mail: rlg@ipa.fhg.de und Gerd Bauer, Fraunhofer- IPA, E-Mail: gdb@ipa.fhg.de (stpnews) (Ende)