pte20041215062 in Forschung
Messverfahren optimiert Silizium-Waver
System verbessert die Qualität von Halbleiter-Bauelementen
Freiberg (pte062/15.12.2004/15:45)
Ein Forscherteam rund um Jürgen Rüdiger Niklas vom Institut für Experimentelle Physik der TU-Bergakademie Freiberg http://www.ioez.tu-freiberg.de hat ein neues Messverfahren zur Untersuchung von Halbleiterwafern entwickelt. Damit soll die Produktion von Silizium-Wafern und darauf hergestellten Chips optimiert werden. Das Verfahren erlaubt mit hoher Ortsauflösung eine berührungs- und zerstörungsfreie detaillierte Analyse elektrischer Eigenschaften von Wafern.
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