Kugelschreiber für Mikrochips entwickelt

Nano-Werkzeug für Messung und Fertigung auf atomarer Ebene

Kassel (pte016/24.08.2000/11:00)

Auf dem Weg zu einer neuen Generation von Werkzeugen, die kleiner als die Wellenlänge des Lichts sind, kamen jetzt Forscher vom Institut für Mikrostrukturtechnologie und Analytik einen Schritt weiter: Der "Nanojet" kann auf atomarer Ebene messen und schreiben. Mit bloßem Auge sind die Furchen, die Kasseler Ingenieure vom Institut für Mikrostrukturtechnologie und Analytik http://www.uni-kassel.de/ mit ihrem "Nanojet" auf einem insgesamt ein Quadratzentimeter großen Siliziumfeld ziehen, nicht mehr zu verfolgen. Mit einem Mikroskop begutachten die Kasseler Feinmechaniker die Arbeit einer ultrafeinen Glaskapillare - dem Kernstück von "Nanojet".

Während das Gerät mit den radikalen Fluoratomen "schreibt", misst es, wo eine Linie im Chip entsteht und wie tief sie ist. Dazu registriert "Nanojet" die Bindungskräfte der so genannten Van-der-Wals-Wechselwirkung. Auch Reparaturen an schadhaften Leiterbahnen kann der "Nanojet" durchführen: Das Gerät tastet dazu die Oberfläche eines Werkstücks ab und ätzt Unebenheiten gezielt weg oder füllt Lücken einfach auf. So können fehlerhafte Masken für die Chipherstellung nachträglich korrigiert werden. Informationen: presse@uni-kassel.de (Ende)