Kleinster Pflug der Welt arbeitet wie Gravurnadel

Nanogravur von Oberflächen mit Rasterkraft-Mikroskop

Hannover (pte014/21.03.2000/11:30)

Für die Herstellung immer kleiner werdender Computerchips braucht man auch immer feinere Werkzeuge: Forscher der Universität Hannover präsentieren einen winzigen "Pflug", der Furchen von nur einigen Nanometern Breite "pflügt", rund 1.000 mal feiner als ein menschliches Haar. Dazu wandelten die Wissenschafter ein Rasterkraft-Mikroskop ab, dessen Spitze üblicherweise immer dicht über der Oberfläche bleibt und elektrische Widerstände zwischen Spitze und Material misst.

"Bei der Produktion von heutigen Mikroprozessoren stößt man mit den herkömmlichen optischen Verfahren an die Auflösungsgrenze. Mit unserer Methode ist es möglich, noch kleinere Transistoren herzustellen und insbesondere auch völlig neue Transistorkonzepte zu verwirklichen," erklärt Rolf Haug, Professor an der Abteilung Nanostrukturen des Instituts für Festkörperphysik. http://www.nano.uni-hannover.de Die hochfeine Spitze des Rasterkraft-Mikroskops, nur ein Atom breit, taucht wie eine Gravurnadel in die Oberfläche des Halbleitermaterials ein und verschiebt die umliegenden Atome. Dabei lässt sich gleichzeitig der elektrische Widerstand messen - der Transistor auf dem Mikrochip kann so schon bei der Herstellung geprüft werden.

Mittels Nanogravur lassen sich aber auch Metalle gravieren, oder einzelne DNA-Moleküle strukturieren und anordnen. Zudem kann auf üblicherweise verwendete Chemikalien und spezielle Laborbedingungen verzichtet werden, die unkomplizierte Methode funktioniert bei Raumtemperatur und an der Luft. Haugs präsentiert den Nano-Pflug auf der Hannover-Messe.(wsa) (Ende)