pte20000227003 in Forschung
Kleinste Düse der Welt putzt Mikrochips
Nanodüse entfernt reaktionsfreudige Atome oder Moleküle von Chip-Oberflächen
Kassel (pte003/27.02.2000/12:30)
An der Universität Gesamthochschule Kassel wurde die weltweit kleinste Düse entwickelt - sie ist kleiner als ein Tausendstel Haardurchmesser (circa 100 Nanometer) und kann zum Beispiel winzigste Unreinheiten oder Fehler auf Mikrochips entfernen. Durch den Düsentrichter der Nanodüse http://www.uni-kassel.de/presse/pm/feb00-09b.ghk aus dem Kasseler Institut für Mikrostrukturtechnik und Analytik http://www.physik.uni-kassel.de/ der Universität Gesamthochschule Kassel - geleitet von Prof. Dr. Rainer Kassing - können ganz gezielt Radikale, also besonders reaktionsfreudige Atome oder Moleküle, geschickt werden, um damit etwa Mikrochip-Oberflächen zu behandeln.
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