Flexible Mikrostrukturierung mittels Lasertechnik

Laserstrahlung hat sich als besonders geeignetes Werkzeug für die flexible Mikrostrukturierung erwiesen. Durch den Einsatz von F2-Excimer-Lasern und in Kombination mit einem im Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) http://www.lzh.de entwickelten Verfahren zur Herstellung dreidimensionaler Konturen für Mikrobauteile können sowohl PTFE als auch Quarzglas mit einer Tiefenauflösung deutlich unter einem Mikrometer und mit einer Strukturauflösung bis in den Mikrometerbereich bearbeitet werden. Laserstrahlung hat sich als besonders geeignetes Werkzeug für die flexible Mikrostrukturierung erwiesen. Durch die Nutzung der passenden Laseranlagen (z. B. Excimer-Laser) können Mikroschnitte und -bohrungen sowie komplexe dreidimensionale Topographien in vielen Materialien gefertigt werden.