pte20001206057 in Forschung
Extremes UV-Licht lässt Computerchips schrumpfen
Beleuchtung mit kürzeren Wellenlängen ermöglicht Produktion feinerer Schaltkreise
Aachen (pte057/06.12.2000/14:46)
Forscher des Fraunhofer-Instituts für Laserphysik (ILT) http://www.ilt.fhg.de/ haben Lichtquellen entwickelt, die mit ihrer Strahlung im extremen Ultraviolett, nahe am Übergang zur Röntgenstrahlung, die kostengünstigere Herstellung immer kleinerer Computerchips ermöglichen soll.
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