pte20040405033 in Forschung
EUV-Mikroskop erlaubt Blick in die Nanowelt
Mikrometer-Abbildungen mit Extremen-Ultraviolett-Licht
Aachen (pte033/05.04.2004/16:47)
Forscher des Fraunhofer Instituts für Lasertechnik (ILT) http://www.ilt.fraunhofer.de haben ein von einem Synchrotron unabgängiges Lichtmikroskop vorgestellt, das Auflösungen unterhalb eines Mikrometers abbilden kann. Auslöser für die Entwicklung war die Halbleiterindustrie. Durch die stetige Verkleinerung der Chipstruktur wird die bisher eingesetzte optische Lithographie in wenigen Jahren an ihre Grenzen stoßen.
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