pte20080709018 in Forschung
Durchbruch auf dem Weg zu 25-Nanometer-Chips
Forscher erzielen kleine Strukturgrößen mit günstiger Methode
Cambridge (pte018/09.07.2008/12:00)
Forscher am Massachusetts Institute of Technology (MIT) haben einen Durchbruch auf dem Weg zu kleineren Strukturgrößen bei Mikrochips erzielt. Mit einer Abwandlung eines gängigen Lithographie-Verfahrens zum Erzeugen von Chip-Strukturen konnten sie Linien mit einer Breite von 25 Nanometern (nm) erzeugen, mit ebenso großen Abständen. Das ist eine deutlich geringere Strukturgröße, als sie aktuell verbreitet ist. Die Methode dürfte nach Ansicht des MIT-Teams kostengünstig umsetzbar sein und könnte daher vielseitige Anwendungsmöglichkeiten haben.
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