Chips für Microfluid-Anwendungen entwickelt

Chips mit Netzwerk von halbkreisförmigen Photolack-Rücken

Albuquerque/New Mexico (pte013/09.07.2000/15:00)

Forscher der Sandia National Laboratories http://www.sandia.gov in Albuquerque haben eine neue Technik entwickelt, um mikroskopische Kanäle auf Chips zu erzeugen, durch die Flüssigkeiten oder Gase von einem Chip zum nächsten fließen können.

Mit der neuen, patentierten Technik haben die Wissenschaftler Kanäle von 8 - 100 Mikron Querschnitt auf Silizium, Glas und Quarzoberflächen erzeugt. Sie habe auch Kanäle mit Haarnadelkurve bis acht Mikron Kurvenradius hergestellt. Durch den größten Kanal passt gerade ein längs gespaltenes menschliches Haar; die kleinsten sind nur ein Zehntel so groß. Um die Kanäle herzustellen beschichten die Forscher einen Wafer mit einem dünnen Photolack-Film. Mit einer konventionellen Maske, Belichten und anschließendem "Entwickeln" erzeugen sie ein Netzwerk von Photolack-Rücken. Dann wird der Wafer für 20 Sekunden auf 100°C erhitzt, das reicht aus, dass aus dem rechtwinkligen Querschnitt der Rücken ein halbkreisförmiger wird.

Ein zwei Mikron dicker Film aus Silizium-Oxynitrid wird auf dem Photolack abgeschieden und der ganze Wafer in ein Azetonbad eingetaucht, bis der verbliebene Photolack gelöst ist und hohle Kanäle auf der Wafer-Oberfläche zurücklässt. Die Technik ist 10 - 100 Mal schneller als andere Techniken und ermöglicht es, bessere Detektoren für die Überprüfung der Luft- oder Wasserverschmutzung zu entwickeln, denn durch die Herstellung bei tiefen Temperaturen können empfindliche organische Materialien mit nützlichen Eigenschaften in die Mikrofluid-Komponenten integriert werden. Ansprechpartner: Carolyn M. Matzke, Sandia National Laboratories, E-Mail: cmmatzke@sandia.gov (stpnews) (Ende)