pte20000903001 in Forschung
Atmosphärische Korrosion von Kupfer untersucht
Multiple Korrosions-Experimente mit Kupfer auf Silizium-Wafer
Albuquerque/New Mexico (pte001/03.09.2000/08:35)
Um die atmosphärische Korrosion von Kupfer besser untersuchen zu können, führten Forscher der Sandia National Laboratories in Albuquerque multiple Korrosionsexperimente auf einem einzigen Si-Wafer durch. http://www.sandia.gov/media/NewsRel/NR2000/copper.htm Sie dampften mittels Elektronenstrahl einen dünnen Kupferfilm auf einen Si-Wafer auf. Dann ätzten sie Teile des Kupferfilms in einem photolithographischen Prozess weg. Das Resultat war ein Si-Wafer mit 16 feinen mäandrierenden Kupferlinien.
Profitieren Sie von
unabhängigem Journalismus!
Lesen Sie mit pressetext Abo+ weiter und unterstützen Sie
Qualitätsberichterstattung für nur 1 EUR pro Woche!
Das Angebot beläuft sich auf 1 EUR pro Woche bzw. 49 EUR im Jahr
– und das, solange Sie wollen. Sie bleiben flexibel, denn Ihr pressetext Abo+
passt sich an Ihre Lesegewohnheiten an und ist jederzeit kündbar